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达到最高等级的精密度

时间:2020-02-15   浏览:0次

Manz的划线系统已经最佳化-可以在每个薄膜模块的划线制程上,达到最高等级的精密度。Manz的设备可用于在高精密度机械划线(CI(G)S基板的P2、P 制程)以及雷射划线(P1、P2、和P 制程)

在制造过程中,主动对位系统──Manz的在线精密控制系统(IPCS,Inline Precision Control System) 可将不发电的死区减少150 m 00 m,与市场上的其它设备相比,已经立下新里程碑。由于死区的减少,大幅提高了模块的发电效率。

低营运成本只是Manz划线设备诸多优势之一,Manz的长期客户亦受益于高生产量和高效率。这主要是由于平行处理,在降低产距时间的同时,仍能保持高水平的质量。

除了制程高精密度和高产品质量之外,此设备的另一项显著特点是它复杂但是又充满弹性的设计,这使得此设备得以轻易地整合于已经全自动化的现有生产线中。

机械划线

基板尺寸从600 1,200 mm 至 1,100 1,700 mm

人造花岗岩材质的高精密度机械底盘

高精度线性马达驱动

基板校正和补偿影像处理

可依照系统产能调整的多种型态的划线头

高效能的废气排放装置

激光划线

基板尺寸从600 1,200 mm 至 2,200 2,600 mm

人造花岗岩材质的高精密度机械底盘

高精度线性马达驱动

在线实时精度控制

最多可同时处理16条雷射划线,以达到最大产能

激光波长 5 2和1,064 nm

高效能的废气排放装置


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